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導(dǎo)熱儀
TLF-熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀
TF-LFA熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 TF-LFA L54采用頻域熱反射(FDTR)非接觸技術(shù),專為精確表征納米至微米級(jí)薄膜材料的熱物性(導(dǎo)熱系數(shù)、熱擴(kuò)散系數(shù)等)而設(shè)計(jì)。尤其適用于半導(dǎo)體、熱電、LED等領(lǐng)域的功能性薄膜。技術(shù)優(yōu)良,無需樣品熱容和密度已知,即可實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜及界面熱阻的完整評(píng)估。
產(chǎn)品型號(hào):TF-LFA
更新時(shí)間:2026-01-05
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:23110
服務(wù)熱線86-021-50550642
產(chǎn)品分類
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薄膜是指厚度從納米到微米范圍的表面材料。由于厚度和溫度的影響,它們的熱物理性質(zhì)與塊狀材料差別很大。薄膜通常用于半導(dǎo)體、熱電材料、相變存儲(chǔ)器、發(fā)光二極管、燃料電池和光存儲(chǔ)介質(zhì)等行業(yè)中,這些行業(yè)應(yīng)用會(huì)在基底上沉積一層薄膜,以賦予設(shè)備特定的功能。
頻域熱反射導(dǎo)熱儀 TF-LFA,是林賽斯與德國亞琛工業(yè)大學(xué)合作研發(fā)的,是在時(shí)域熱反射法的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新探測(cè)手段,F(xiàn)DTR(頻域熱反射)是一種在頻域內(nèi)對(duì)薄膜熱性能進(jìn)行非接觸表征的技術(shù)。使用了波長(zhǎng)為 532 nm 的連續(xù)激光(探測(cè)激光),同時(shí)使用不同波長(zhǎng)(405 nm)的調(diào)制泵浦激光對(duì)樣品進(jìn)行加熱。利用熱擴(kuò)散傳輸模型對(duì)頻域響應(yīng)進(jìn)行建模,可以確定薄膜的導(dǎo)熱系數(shù)、體積熱容、熱擴(kuò)散系數(shù)、傳熱效率和邊界導(dǎo)熱系數(shù)。
| 類型 | TF - LFA L54 |
| 樣品尺寸: | 2 mm x 2 mm 和 25 mm x 25 mm 之間的任意形狀 |
| 薄膜樣品: | 10 nm - 20 µm * (取決于樣品) |
| 溫度范圍: | RT, RT - 200 ℃ / 500 °C, 4'' 晶圓樣品支架(僅限于室溫) |
| 氣氛: | 惰性、氧化或還原,真空度可達(dá) 10E-4 mbar |
| 熱擴(kuò)散系數(shù)測(cè)量范圍: | 0.01 - 1200 mm2/s (取決于樣品) |
| 泵浦激光: | 泵浦激光器(405 nm,300 mW,調(diào)制頻率高達(dá) 200 MHz) |
| 探測(cè)激光: | CW Laser(532 nm,25 mW) |
| 檢測(cè)器: | Si 基光電探測(cè)器,有效直徑:0.2 mm,帶寬:DC - 400 MHz |
| 軟件: | 包含使用多層分析計(jì)算熱物理性質(zhì)的軟件包 |
| * 實(shí)際厚度范圍取決于樣品 |
企業(yè)名稱:林賽斯(上海)科學(xué)儀器有限公司
公司地址:上海市浦東新區(qū)陸家嘴數(shù)智天地·智慧谷T3棟120號(hào)
企業(yè)郵箱:links@linseis.com.cn
聯(lián)系電話:021-50550642

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